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德國(guó)HEIDENHAIN敞開(kāi)式直線光柵尺工作原理

更新時(shí)間:2025-08-15   點(diǎn)擊次數(shù):145次

德國(guó)HEIDENHAIN敞開(kāi)式直線光柵尺高精度應(yīng)用的HEIDENHAIN產(chǎn)品

DR. JOHANNES HEIDENHAIN GmbH開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)直線光柵尺深刻變革、角度編碼器、旋轉(zhuǎn)編碼器、CNC數(shù)控系統(tǒng)和數(shù)顯裝置重要手段,這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于機(jī)床、自動(dòng)化系統(tǒng)和計(jì)量領(lǐng)域。HEIDENHAIN產(chǎn)品還包括長(zhǎng)度計(jì)、信號(hào)轉(zhuǎn)換器為產業發展、測(cè)頭和測(cè)試設(shè)備。

詳細(xì)了解HEIDENHAIN解決方案的亮點(diǎn)資源優勢,包括超高精度和可信賴的可重復(fù)性和高重復(fù)精度高效利用。高過(guò)程可靠性特征更加明顯、高動(dòng)態(tài)性能、操作簡(jiǎn)單和高工作效率定讓您獲益匪淺講理論。


德國(guó)HEIDENHAIN敞開(kāi)式直線光柵尺

敞開(kāi)式直線光柵尺在讀數(shù)頭與柵尺或尺帶之間無(wú)任何機(jī)械接觸的可能性。典型應(yīng)用包括半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)和測(cè)量設(shè)備,以及貼片機(jī)和直驅(qū)系統(tǒng)市場開拓。

德國(guó) HEIDENHAIN(海德漢)敞開(kāi)式直線光柵尺是高精度直線位移測(cè)量的核心部件措施,其工作原理基于光電掃描技術(shù),通過(guò)光柵尺與讀數(shù)頭的相對(duì)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生位移信號(hào)要落實好,具體過(guò)程如下:

1. 核心部件組成

敞開(kāi)式直線光柵尺主要由兩部分構(gòu)成:

光柵尺(標(biāo)尺光柵):通常為金屬或玻璃材質(zhì),HEIDENHAIN敞開(kāi)式直線光柵尺表面刻有等間距的光柵刻線(柵距更默契了,常見(jiàn)規(guī)格如 5μm先進技術、10μm 等)〔缓侠聿▌??叹€通過(guò)透光與不透光交替排列(玻璃光柵)或反射與非反射交替排列(金屬光柵)宣講手段,形成周期性的光學(xué)信號(hào)源。

讀數(shù)頭(掃描單元):內(nèi)置光源積極拓展新的領域、光學(xué)系統(tǒng)和光電探測(cè)器配套設備。讀數(shù)頭與運(yùn)動(dòng)部件(如機(jī)床滑塊)連接,隨被測(cè)物體一起移動(dòng)相對開放,而光柵尺固定在設(shè)備基座上推進高水平。

2. 光電掃描原理

HEIDENHAIN敞開(kāi)式直線光柵尺當(dāng)讀數(shù)頭相對(duì)于光柵尺移動(dòng)時(shí),通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)對(duì)光柵刻線進(jìn)行掃描拓展應用,產(chǎn)生周期性的光信號(hào)生產創效,再轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,具體步驟如下:

德國(guó)HEIDENHAIN敞開(kāi)式直線光柵尺工作原理


光源照射:讀數(shù)頭內(nèi)的 LED 或激光光源發(fā)出平行光管理,照射到光柵尺的刻線區(qū)域優化上下。

莫爾條紋形成:讀數(shù)頭內(nèi)部包含一個(gè)指示光柵(與標(biāo)尺光柵刻線平行,柵距相同)模樣。當(dāng)兩光柵之間存在微小夾角時(shí)生產體系,光源透過(guò)(或反射)兩光柵的重疊區(qū)域,會(huì)形成明暗相間很重要、周期性變化的莫爾條紋能力和水平。莫爾條紋的間距遠(yuǎn)大于光柵刻線的柵距,可將微小的位移信號(hào)放大基石之一,提高測(cè)量精度聯動。

信號(hào)轉(zhuǎn)換:莫爾條紋的明暗變化被讀數(shù)頭內(nèi)的光電探測(cè)器(如光電二極管陣列)接收,轉(zhuǎn)換為周期性的電信號(hào)(正弦波或方波)共同努力。

HEIDENHAIN敞開(kāi)式直線光柵尺細(xì)分與計(jì)數(shù):原始電信號(hào)通過(guò)讀數(shù)頭內(nèi)部的電子電路進(jìn)行細(xì)分處理(海德漢細(xì)分技術(shù)可將柵距細(xì)分至納米級(jí))行業內卷,再通過(guò)計(jì)數(shù)電路計(jì)算信號(hào)周期的變化次數(shù)追求卓越,最終轉(zhuǎn)化為精確的直線位移數(shù)據(jù)(單位:μm 或 nm)。

3. 敞開(kāi)式設(shè)計(jì)的特點(diǎn)

“敞開(kāi)式" 指光柵尺和讀數(shù)頭無(wú)封閉外殼參與能力,直接暴露在工作環(huán)境中(需配合設(shè)備自身防護(hù))合理需求。其工作原理的核心優(yōu)勢(shì)在于:

HEIDENHAIN敞開(kāi)式直線光柵尺無(wú)機(jī)械接觸:讀數(shù)頭與光柵尺之間為非接觸式掃描,無(wú)磨損充分發揮,使用壽命長(zhǎng)高質量,適合高速運(yùn)動(dòng)場(chǎng)景(如機(jī)床主軸、精密工作臺(tái))選擇適用。

高精度來(lái)源:通過(guò)精密光刻技術(shù)保證光柵刻線的均勻性管理,配合先進(jìn)的細(xì)分算法,可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率(如部分型號(hào)分辨率達(dá) 0.1μm 甚至更高)業務指導。

信號(hào)輸出:通常輸出增量式信號(hào)(如 TTL改進措施、HTL)或絕對(duì)式信號(hào)(如 EnDat、SSI)長足發展,直接與數(shù)控系統(tǒng)(CNC)或運(yùn)動(dòng)控制器通信今年,實(shí)時(shí)反饋位移信息。


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